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    ASML推出High NA EUV光刻機TWINSCAN EXE:5000樂高套裝

    2024年12月02日 11:53:10 來源:IT之家

      ASML 在官網紀念品商城上架了一款特殊的產品:世界首型 High NA EUV 光刻系統 TWINSCAN EXE:5000 的樂高模型套裝。

      TWINSCAN EXE:5000 光刻機是首款采用 0.55NA 數值孔徑的光刻機,其分辨率達 8nm,成像對比度較此前的 NXE 系列 0.33NA EUV 系統高 40%,支持 2nm 邏輯節點圖案化,單價達 3.5 億歐元(IT之家備注:當前約 26.8 億元人民幣)。

      該樂高套裝由 ASML 開發人員 —— 同樣也是樂高愛好者 —— Rick Lenssen 設計,擁有 851 個部件,寬高深三維  352×99×64 mm,定價 227.95 美元(當前約 1653 元人民幣)。

      Rick Lenssen 此前曾耗時合計 2.5 年(1.5 年設計藍圖、1 年實際組裝)用樂高積木復現了 ASML 的費爾德霍芬主園區,還推出過多款 ASML 主題的樂高套裝產品。

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