中國科學(xué)院研究人員近日成功開發(fā)出一種突破性固態(tài)深紫外(DUV)激光，可發(fā)射193納米的相干光，該波長目前廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域。深紫外相干光，尤其是193納米波長，已成為半導(dǎo)體制造中不可或缺的技術(shù)。

　　研究團隊提出了一種緊湊型固態(tài)納秒脈沖激光系統(tǒng)，通過復(fù)雜的諧波產(chǎn)生和光學(xué)參量放大技術(shù)，最終在6千赫茲重復(fù)頻率下生成平均功率70毫瓦的193納米激光。

　　值得一提的是，該實驗首次實現(xiàn)了固態(tài)激光產(chǎn)生193納米渦旋光束，這一成果對種子混合ArF準(zhǔn)分子激光器及晶圓加工、缺陷檢測等應(yīng)用具有重要價值。